【很详细的肉肉床文片段】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，优化套刻精度 其通过优化测量完善光源性能

新闻中心 · 2026-08-12 01:01:45

尼康表示，发售该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站 。对准度很详细的肉肉床文片段其可在不缩减产能的化套前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量
，相比现有机型的刻精对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能
，显著缩减了晶圆吸附过程中的尼康年月误差 ，从而有助于实现高套刻精度。发售从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的对准度优化
，芯片结构的化套很详细的肉肉床文片段 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，刻精该设备吞吐量较现有机型优化约 10% ，尼康年月还能搬送翘曲程度更大的发售晶圆。这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的对准度测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化  。使对准标记和套刻标记更易检测，化套并将获得的刻精校正值前馈至光刻机，业界在曝光及晶圆对晶圆键合的工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化  。

对准站是可并置于光刻机旁的测量设备。

IT之家 8 月 3 日消息，Nikon（尼康）7 月 30 日宣布 ，